2013年中國(guó)微納光學(xué)制造業(yè)分析
中國(guó)產(chǎn)業(yè)研究報(bào)告網(wǎng)訊:
微納光學(xué)是指研究微米乃至納米尺度下的光學(xué)現(xiàn)象的學(xué)科,隨著光學(xué)系統(tǒng)體積的不斷縮小,光學(xué)特性也會(huì)發(fā)生改變,當(dāng)特征尺寸達(dá)到微納米量級(jí),就會(huì)出現(xiàn)許多宏觀條件下所沒(méi)有的特性。利用微納尺寸結(jié)構(gòu)的光學(xué)特性,可以設(shè)計(jì)出新型光學(xué)器件、系統(tǒng)和裝置。
微納光學(xué)制造業(yè)主要利用微納光學(xué)技術(shù)生產(chǎn)因微納結(jié)構(gòu)而產(chǎn)生特殊光學(xué)性能或呈現(xiàn)特殊視覺(jué)效果的光學(xué)膜(器件)。利用微納結(jié)構(gòu)的色彩控制能力和數(shù)字化編碼能力,在公共安全防偽、鐳射包裝材料、新型顯示及照明、新能源等行業(yè)中發(fā)揮著重要作用。
微納光學(xué)制造技術(shù)主要包括LIGA技術(shù)、電子束離子束加工技術(shù)和金剛石微加工技術(shù)。LIGA技術(shù)是一種基于激光光刻技術(shù)的微機(jī)電加工技術(shù),主要包括光刻、電鑄和復(fù)制三個(gè)工藝步驟。
與其它微制造方法相比,LIGA技術(shù)具有如下特點(diǎn):①可制造較大高寬比的結(jié)構(gòu);②取材廣泛,可以是金屬、陶瓷、聚合物、玻璃等;③可制作任意截面形狀圖形結(jié)構(gòu),加工精度高;④可重復(fù)復(fù)制,符合工業(yè)化大批量生產(chǎn)要求,制造成本相對(duì)較低等。
LIGA技術(shù)在過(guò)去20年里取得了突飛猛進(jìn)的進(jìn)展,不斷突破180nm、60nm、35nm等節(jié)點(diǎn),已經(jīng)進(jìn)入納米尺度,推動(dòng)了微納光學(xué)技術(shù)及相關(guān)器件的發(fā)展,并且LIGA工藝也在不斷改進(jìn),生產(chǎn)效率持續(xù)提高。如微納結(jié)構(gòu)產(chǎn)品的復(fù)制環(huán)節(jié),現(xiàn)在已普遍采用壓印工藝取代了原有的注塑工藝,壓印工藝能夠?qū)崿F(xiàn)連續(xù)生產(chǎn),極大的提高了生產(chǎn)效率。
微納光學(xué)是指研究微米乃至納米尺度下的光學(xué)現(xiàn)象的學(xué)科,隨著光學(xué)系統(tǒng)體積的不斷縮小,光學(xué)特性也會(huì)發(fā)生改變,當(dāng)特征尺寸達(dá)到微納米量級(jí),就會(huì)出現(xiàn)許多宏觀條件下所沒(méi)有的特性。利用微納尺寸結(jié)構(gòu)的光學(xué)特性,可以設(shè)計(jì)出新型光學(xué)器件、系統(tǒng)和裝置。
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微納光學(xué)制造技術(shù)主要包括LIGA技術(shù)、電子束離子束加工技術(shù)和金剛石微加工技術(shù)。LIGA技術(shù)是一種基于激光光刻技術(shù)的微機(jī)電加工技術(shù),主要包括光刻、電鑄和復(fù)制三個(gè)工藝步驟。
與其它微制造方法相比,LIGA技術(shù)具有如下特點(diǎn):①可制造較大高寬比的結(jié)構(gòu);②取材廣泛,可以是金屬、陶瓷、聚合物、玻璃等;③可制作任意截面形狀圖形結(jié)構(gòu),加工精度高;④可重復(fù)復(fù)制,符合工業(yè)化大批量生產(chǎn)要求,制造成本相對(duì)較低等。
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